Главная » Продукция Wika » Электроника - Измерение давления » Преобразователи и датчики давления » Сверх чистые среды » Система Hydra-Dry для полупроводниковой промышленности

Применение

  • Для полупроводниковой отрасли промышленности
  • Системы разделения на жидкие химические составляющие

Специальные особенности

  • Запатентованная двойная мембрана
  • Полностью сухая конструкция: керамический датчик, без передающей жидкости
  • Смачиваемые части из перфторалкоксила (PFA)
  • Поворотный корпус на 270° даже после монтажа
  • Степень защиты IP67
  • Опционально: Модель HYDRA-Indicator встроенный индикатор для установки в панель
 

Спецификация

 
Присоединения к процессу  В линию 3/8", ½", ¾", 1", 1 ¼"
 Окончание ¼", 3/8", ½";  ¼ NPT внутр; ¼ NPT внешн
Диапазоны

 0...2.5 бар до 0...6 бар

Погрешность  0.5% от диапазона
Выходные сигналы  4...20 мА; 2-проводная
Сенсорный элемент  сухая керамическая ячейка
Корпус  PVDF; кабель покрытый FEP
Пылевлагозащита  IP 67; Для экстремальных условий
Варианты Смотри типовой лист

Описание

Наши приборы измерения давления семейства HYDRA-line разрабатывались в сотрудничестве с известными производителями в области полупроводниковой отрасли промышленности. Вся концепция продукции была разработанна для специальных требований, предъявляемых к технологическому оборудованию и систем распределения особо чистых химических сред.

Датчик давления HYDRA-Dry обеспечивает высокую точность и надежность всех особо чистых, взаимодействующих со средой деталей и поверхностей. Отсутствует заполняющая жидкость, что позволяет избежать вероятности загрязнения процесса.

Кроме того, производство всех смачиваемых деталей, чистка компонентов, калибровки и упаковки происходит в чистом помещении с 100 классом чистоты.

Двойная защита
Запатентованная система двойной мембраны HYDRA обеспечивает надежное разделение датчика давления и измеряемой среды. Одновременно диффузирующие технологические среды, такие как испарения плавиковой кислоты HF или хлороводорода HCI, отводятся в окружающую среду во избежание искажения результатов измерения или разрушения чувствительного элемента.

Поделиться:

Наличие, сроки поставки, цену на товар "Система Hydra-Dry для полупроводниковой промышленности" Вы можете уточнить у наших менеджеров по тел.+7 (343) 319-51-25 или отправив заявку на электронную почту info@kip-e.ru, а также заполнить заказ клиента ниже:

Имя отправителя *:
E-mail отправителя *:
Контактный телефон *:
Название организации:
Web-site:
Тема письма:
Текст сообщения *: