Система Hydra-Sensor для полупроводниковой промышленности

Главная » Продукция Wika » Электроника - Измерение давления » Преобразователи и датчики давления » Сверх чистые среды » Система Hydra-Sensor для полупроводниковой промышленности

Применение Для полупроводниковой отрасли промышленности Системы разделения жидких химических составляющих Специальные особенности Запатентованная двойная мембрана Смачиваемые части из перфторалкоксила (PFA) Поворотный корпус на 360° даже после монтажа Степень защиты IP65 или IP67 Опционально: присоединяемый индикатор, см. Типовой лист PE 82.11

Hydra-Sensor с 1/2" присоединением к процессу

Спецификация
Присоединения к процессу  В линию 3/8", ½", ¾", 1", 1 ¼"  Окончание ¼", 3/8", ½";  ¼ NPT внутр; ¼ NPT внешн Диапазоны  0...2.5 бар до 0...6 бар Погрешность  0.5% от диапазона Выходной сигнал  4...20 мА, 2-проводная Эл.присоединения  L-разъем по DIN 175301-803, Форма A Пылевлагозащита  IP 65 или IP67 Варианты  Смотри Типовой лист

Описание

HYDRA-line

Наши приборы измерения давления линейки HYDRA-line разрабатывались в сотрудничестве с известными производителями в области полупроводниковой отрасли промышленности. Вся концепция продукции адаптирована по специальным требованиям, предъявляемым к технологическому оборудованию и системам распределения для сверхчистых химических сред.

Датчик давления HYDRA-Sensor обеспечивает высокую точность и надежность всех сверх чистых, взаимодействующих со средой деталей и поверхностей. Кроме того, производство всех смачиваемых деталей, чистка компонентов, калибровки и упаковки происходит в чистом помещении со 100 классом чистоты..

Двойная защита

Запатентованная система двойной мембраны HYDRA обеспечивает надежное разделение сенсора давления от измеряемой среды. Одновременно диффузирующие технологические среды, такие как пары HF или HCI, отводятся в окружающую среду во избежание искажения результатов измерения или разрушения чувствительного элемента.

Предложение данного продукта не означает по умолчанию химическую совместимость с конкретным процессом заказчика.
Некоторые варианты применения данного продукта могут привести к  попаданию химических веществ через мембрану.