Система Hydra-Dry для полупроводниковой промышленности

Главная » Продукция Wika » Электроника - Измерение давления » Преобразователи и датчики давления » Сверх чистые среды » Система Hydra-Dry для полупроводниковой промышленности

Применение Для полупроводниковой отрасли промышленности Системы разделения на жидкие химические составляющие Специальные особенности Запатентованная двойная мембрана Полностью сухая конструкция: керамический датчик, без передающей жидкости Смачиваемые части из перфторалкоксила (PFA) Поворотный корпус на 270° даже после монтажа Степень защиты IP67 Опционально: Модель HYDRA-Indicator встроенный индикатор для установки в панель

Спецификация
Присоединения к процессу  В линию 3/8", ½", ¾", 1", 1 ¼"  Окончание ¼", 3/8", ½";  ¼ NPT внутр; ¼ NPT внешн Диапазоны  0...2.5 бар до 0...6 бар Погрешность  0.5% от диапазона Выходные сигналы  4...20 мА; 2-проводная Сенсорный элемент  сухая керамическая ячейка Корпус  PVDF; кабель покрытый FEP Пылевлагозащита  IP 67; Для экстремальных условий Варианты Смотри типовой лист

Описание

Наши приборы измерения давления семейства HYDRA-line разрабатывались в сотрудничестве с известными производителями в области полупроводниковой отрасли промышленности. Вся концепция продукции была разработанна для специальных требований, предъявляемых к технологическому оборудованию и систем распределения особо чистых химических сред.

Датчик давления HYDRA-Dry обеспечивает высокую точность и надежность всех особо чистых, взаимодействующих со средой деталей и поверхностей. Отсутствует заполняющая жидкость, что позволяет избежать вероятности загрязнения процесса.

Кроме того, производство всех смачиваемых деталей, чистка компонентов, калибровки и упаковки происходит в чистом помещении с 100 классом чистоты.

Двойная защита
Запатентованная система двойной мембраны HYDRA обеспечивает надежное разделение датчика давления и измеряемой среды. Одновременно диффузирующие технологические среды, такие как испарения плавиковой кислоты HF или хлороводорода HCI, отводятся в окружающую среду во избежание искажения результатов измерения или разрушения чувствительного элемента.