Главная » Продукция Wika » Электроника - Измерение давления » Преобразователи и датчики давления » Сверх чистые среды » Система Hydra-Sensor для полупроводниковой промышленности
Применение
Специальные особенности
|
Спецификация |
||||||||||||||
|
Описание
HYDRA-line
Наши приборы измерения давления линейки HYDRA-line разрабатывались в сотрудничестве с известными производителями в области полупроводниковой отрасли промышленности. Вся концепция продукции адаптирована по специальным требованиям, предъявляемым к технологическому оборудованию и системам распределения для сверхчистых химических сред.
Датчик давления HYDRA-Sensor обеспечивает высокую точность и надежность всех сверх чистых, взаимодействующих со средой деталей и поверхностей. Кроме того, производство всех смачиваемых деталей, чистка компонентов, калибровки и упаковки происходит в чистом помещении со 100 классом чистоты..
Двойная защита
Запатентованная система двойной мембраны HYDRA обеспечивает надежное разделение сенсора давления от измеряемой среды. Одновременно диффузирующие технологические среды, такие как пары HF или HCI, отводятся в окружающую среду во избежание искажения результатов измерения или разрушения чувствительного элемента.
Предложение данного продукта не означает по умолчанию химическую совместимость с конкретным процессом заказчика.
Некоторые варианты применения данного продукта могут привести к попаданию химических веществ через мембрану.